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VAT 对称控制阀67.0系列
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产品: 浏览次数:7VAT 对称控制阀67.0系列 
品牌: VAT
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最后更新: 2024-03-07 16:51
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详细信息
    67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计,用作下游控制和隔离阀。
  工艺室中的气流特性直接影响工艺速度和质量。虽然气体流入传统上在工艺设计中受到*多关注,但下游流动也为工艺优化提供了潜力。
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