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VAT 09.1 带保护环的高压闸阀系列
  气流中副产品的比例非常高,可能会导致阀门故障以及由于沉积物的形成而导致计划外的维护工作。带保护环的 09.1 HV 闸阀可防
2024-12-09
VAT 01.0 迷你特高压闸阀系列
  01.0 迷你特高压闸阀系列采用 VAT 的专利 MonOVAT 技术,该技术专门开发用于提供可靠的闸门密封,无任何摩擦。凭借 MonOVAT
2024-12-09
VAT 高压摆式控制阀65.3 系列
  65.3 变压控制阀为下游压力控制和隔离设立了新标准。该系列变压控制阀专为半导体和显示器生产系统而设计,可在较宽的电导范
2024-12-09
VAT 高压控制闸阀64.2 系列
  64.2 HV 控制闸阀专为高循环真空工艺(例如半导体生产中的溅射或蚀刻工艺)中可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足耐用性、
2024-12-09
VAT 79.0 特高压挡束器系列
  光束限位器的主要要求是可靠的作用限位机构。  79.0 光束阻挡器系列可在 UHV 和 XHV 应用中提供可靠的能量辐射保护。带有
2024-12-09
VAT 54.1 UHV/XHV 全金属角阀系列
  54.1 全金属角阀配备了 FLEX VATRING,*种硬对硬密封技术。这种动态的全金属密封系统的特点是*致的密封和恒定的关闭力。它可
2024-12-09
VAT 25.7 高压快速切断阀系列
  现代截止阀的主要要求是在任何回流事件时都能可靠且快速地紧急隔离。25.7 旨在提供灵敏、高速的隔离功能,可靠地防止回流到
2024-12-09
VAT 25.1 高压气缸阀系列
 25.1 HV 气缸阀系列设计用于具有腐蚀性和携带颗粒气体的恶劣工艺环境,例如次晶圆厂工艺。它的布局可实现*大电导,并可采用内
2024-12-09