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VAT 真空蝶阀系列
  20.3 VATTERFLY 阀门的关键要素是特殊的 VATterfly 技术。VATTERFLY 关闭机构的操作方式与传统蝶阀技术显着不同。在关闭循环
2024-12-09
VAT 16.2 高压摆式隔离阀系列
  16.2 HV 摆式隔离阀提供可靠的隔离性能以及低颗粒计数和低颗粒激活。卓越的颗粒性能是通过异常平稳的打开和关闭运动实现的。
2024-12-09
VAT 08.2 FV插入式闸阀系列
  08.2 插入式闸阀系列设计用于直接安装在两个连接管道之间,无需法兰。优点:它需要很少的空间。  该闸阀采用VAT的专利VATL
2024-12-09
VAT 对称控制阀67.0系列
  67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计,用作下游控制和隔离阀。  工艺室中的气流特性直接影响工艺速度
2024-12-09
VAT 特高压控制闸阀64.8 系列
  64.8 UHV 控制闸阀系列专为在半导体生产中的溅射或 EUV 等应用中的超高真空工艺中进行可靠、精确的控制和隔离而设计。它满足
2024-12-09
VAT 蝶形控制阀61.3系列
61.3 控制蝶阀提供出色的压力控制性能。凭借其快速而精确的运动控制器(0.1 秒),它是 CVD 和 ALD 工艺中精细控制的完美解决方
2024-12-09